等離子體是物質的一種存在狀態，通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態存在，如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質：處于高速運動狀態的電子；處于激活狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，但物質在總體上仍保持電中性狀態。
腔體采用不銹鋼材料,保證系統材料的穩定性；
采用15.56Mhz射頻電源,清洗更徹底；
支持自動手動模式，方便客戶靈活操作；
智能自動模式：可以設置為2次清洗，2次進氣,每次清洗時間,進氣穩定時間都可以設定；
手動模式：手動模式下，系統可以啟動定時功能，清洗時間到，系統自動停止工作；
氣壓穩定功能（選配）：根據需要可以配置輸出比例閥控制氣體的流速，均衡腔體內壓力；
智能氣路功能（選配）：根據需要，可以配置質量
流量計系統，可以設置不同的清洗段落配置不同氣體的流速；
等離子體清洗不會在表面產生損傷層，表面質量得到保證；不污染環境，保證清洗表面不被二次污染。
