低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，是氣體在外界能量作用下產(chǎn)生的包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。該技術(shù)是利用高壓脈沖電暈放電或介質(zhì)阻擋放電過程中，等離子體內(nèi)部產(chǎn)生極高化學活性的基團，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應(yīng)，終轉(zhuǎn)化為CO2、H2O或小分子等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣的目的。因等離子體中的電子平均能量在1eV～10eV，適當控制反應(yīng)條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應(yīng)變得十分快速。
主要反應(yīng)過程如下:
電場 +電子→ 高能電子
高能電子 +污染物 → 活性基團（受激原子、受激基團、游離基團）
活性基團 + 氧氣 → 生成物+熱
活性基團 +活性基團→ 生成物+熱
廢氣由收集氣管收集，由風機送入FSD-DLZ低溫等離子體廢氣處理設(shè)備，經(jīng)過濾后進入低溫等離子反應(yīng)模組，高壓脈沖放電產(chǎn)生的大量的高能電子、離子和自由基等活性粒子，將廢氣氧化分解，凈化后的廢氣經(jīng)排放管道達標排放。
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