低溫等離子凈化裝置在工業廢氣處理工程中的應用中較為廣泛，其主要工藝流程主要由以上六大部分組成，氣體收集系統—預處理噴淋洗滌系統—低溫等離子凈化系統—深度氣體吸附催化系統—排放系統—控制系統氣體收集系統主要是將構筑物自由揮發的氣體收集起來并輸送到后續處理系統。具體包括氣罩系統、管道輸送系統和風機。
低溫等離子凈化裝置在廢氣處理過程中，洗滌系統用來和廢氣在洗滌塔內進行預處理化學反應，去處粉塵且通過化學反應后的氣體達到廢氣一級凈化處理，具體包括填料、噴淋裝置、脫水層、風機、加藥系統等。植物油廠油霧凈化設備
工作原理：低溫等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能等離子與介質發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態介質的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程是污染介質處于活化狀態。污染介質在等離子體的作用下，產生活性自由基，活化后的污染分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫離。該設備能高效去除揮發性有機廢氣，以及各種惡臭味，油煙，粉塵顆粒效率可達92%以上。
